이온교환 멤브레인 전해기술

수처리제·식품첨가물도 제조

용기재검·전처리사업도 병행

내면처리에 철저…순도 유지

[가스신문=한상열 기자] 국내 최초로 이온 교환 멤브레인 전해기술을 도입, 지속적인 투자와 함께 기초화학산업 전문업체로 성장해온 백광산업(주)가 최근 반도체용 특수가스분야에서두드러지게 활약하면서 급부상하고 있다.

1954년 서울 구로구에서 ‘백광약품’으로 창업한 이 회사가 특수가스시장에 뛰어든 시기는 지난 2008년 군산공장에서 고순도 염소(Cl2) 제조하면서였다. 또 2018년 충북 음성공장을 신설해 2019년부터 고순도 아산화질소(N2O)를 제조한 데 이어 지난해에는 군산공장에서 고순도 염화수소(HCl)까지 국산화해 국내 유수의 반도체회사에 납품하게 됐기 때문이다.

의료용 마취제, 식품첨가물용으로 사용하던 N2O는 최근 들어 정제과정을 거친 고순도 제품이 반도체 및 디스플레이제조공정에서 대량으로 사용하게 되는 등 활용 분야가 계속 확대되고 있다.

특히 고순도 HCl은 반도체 제조공정 중 웨이퍼를 세정하거나 웨이퍼를 깎는 식각공정에서 식각액으로 사용하는 소재로서 대부분 해외에 의존해 왔다. 그동안에도 국내 업체가 제조한 HCl이 있었으나 순도가 다소 떨어지는 등 품질문제가 있어 해외기업에 의존하는 실정이었다. 하지만 백광산업이 제조한 HCl는 반도체회사가 요구하는 순도를 충족시킴으로써 안정적으로 납품할 수 있게 됐다.

또 반도체 제조공정에서 Si Layer 식각공정 및 웨이퍼제조공정 중 Si Epitaxial Growing(웨이퍼 세정 및 에칭)에 주로 사용되는 고순도 HCl은 최근 LSI Logic 소자의 사용량 증가와 High Performance 소자의 수요 증가에 따라 Epi Process의 공정의 증가에 따라 사용량이 증가하는 추세다. 국내 및 중국, 대만, 일본 등의 반도체기업들의 대규모 설비투자로 고순도 HCl의 사용량도 지속적으로 증가할 것으로 예상한다.

백광산업 군산공장의 한 관계자는 “군산공장에서는 30여년 전부터 염화나트륨(NaCl)과 물(H2O)을 이용한 전해기술로 염소(Cl2)와 수소(H2)를 제조해오고 있다”고 설명하면서 “여기에서 얻은 제품을 기반으로 초고순도 HCl까지 제조하는 등 주변으로부터 기초화학업체로서의 역량을 발휘하고 있다는 평가를 받고 있다”고 덧붙였다.

백광산업은 최신 설비도입과 끊임없는 연구개발 등 지속적인 투자를 통해 가성소다, 합성염산을 비롯해 차아염소산 나트륨, 염소 등의 수처리제와 솔비톨, 말티톨, 폴리글리시톨 등의 다양한 식품첨가물을 제조, 공급하고 있다.

이 회사는 특히 고압용기의 재검사와 바렐연마를 일괄적으로 수행하는 등 철저한 용기관리로 초고순도가스의 순도를 유지하는 데 큰 역할을 하고 있다. 가스의 제조부터 용기 전처리사업까지 가스는 물론 고압용기와 관련한 토털서비스를 제공하고 있다.

내압시험기, 분체도장설비, 독성가스 중화설비 등 최신 재검사설비를 갖춘 군산공장에서는 밸브 및 스키드 해체, 외관검사, 음향 및 두께검사, 내압 및 가압시험, 물배수 및 건조, 쇼트블라스트, 2차 외관검사, 도장 및 검사각인, 밸브 및 스키드 조립 등의 철저한 재검사 과정을 거쳐 출고하고 있다.

10ℓ 규모의 소형 용기부터 930ℓ 규모의 대형 암모니아용기까지 재검사하는 이 회사는 그야말로 고압용기 재검사를 비롯해 내면처리까지 원스톱서비스를 선보이고 있다. 용기의 재검사와 바렐연마, 밸브부착 및 가열배기까지 완벽하게 마무리함으로써 재검사를 의뢰하는 특수가스제조업체들의 고민을 한꺼번에 해소시켜 호평받고 있다.

염화나트륨을 원료로 하여 알칼리와 염소를 생산하는 이 회사는 관련기술 및 제품을 기반으로 수처리제, 식품첨가물, 수소 등 산업용가스를 비롯해 반도체용 특수가스까지 매우 다양한 특수소재로 그 영역을 확대하면서 성장하고 있다.