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반도체용 특수가스에 불 실란으로 인명피해 없어

기사승인 [1402호] 2019.08.13  23:24:48

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- 11일, 경기도 화성시 공장에서

[가스신문=한상열 기자] 경기도 화성의 한 반도체제조공장에서 모노실란(SiH₄)에 불이 붙는 사고가 발생했다.

지난 11일 오후 7시 47분경 일어난 이 사고는 20여분 만에 불이 완전히 꺼졌으며, 인명피해가 없는 것으로 알려졌다.

공기와 접촉하기만 해도 불이 붙는 모노실란은 트랜지스터 생성 시  기판에 산화막을 형성하는 데 쓰인다. 또 이 가스는 반도체, 액정표시장치(LCD) 제조에도 사용되나 박막형 태양광전지에도 사용된다.

인화성가스의 일종으로 공기 중에서 자연발화할 수 있으며, 열이나 화염에 의해 쉽게 점화되어 폭발한다. 불에 타는 동안에는 매우 자극적인 독성가스가 발생한다. 다만 공기를 차단하고 보존하면 상온에서도 안정적으로 보관할 수 있다.

모노실란은 수분이나 정전기 등 다른 물질과의 접촉에 민감하게 반응하는 것이 특징이다. 독성이 강하고 가연성·부식성을 가지고 있어 실란가스를 다루는 배관 등의 설비가 중요하다. 실란가스는 환기가 잘 되는 곳이나 바깥에서 취급해야 하며 최소 2명 이상의 전문가가 안전보호구와 공기 마스크, 고무장갑 등의 안전용구를 착용하고 다뤄야 한다.

한상열 기자 syhan@gasnews.com

<저작권자 © 한국가스신문 무단전재 및 재배포금지>
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